에칭과 박막공정 관련 주요 질문 사항에 대한 대비를 할 수 있는 강의

| 2019.12.04

N_4*****

오늘 강의 내용은 면접 중에 에칭과 박막 공정에 관련한 질문 사항들이 어떤 것들이 나오는지 확인하였고, 그 중 자주 나오는 질문들에 대해 어떻게 답변할 것인지 확인하였다.
에칭 공정에서는 에칭의 종류 및 에칭 방식, 각 방식들의 특징 및 장/단점을 확인하였다. 또한 식각공정 주요 parameter들을 공부하며 각 에칭 방식의 차이에 따라 어떠한 특성을 가지는지 알 수 있었다. 구체적으로 식각 시 angle의 중요성을 확인할 수 있었으며, 이를 조절하는 법에 대해서 배울 수 있었다.
박막 공정에서는 CVD, PVD, ALD의 증착 방식과 특성에 대해 구별할 수 있었다. 또한 구리를 사용하는 다마신 공정이 어떤것인지 배웠으며 다마신 공정이 실제 공정에 적용되게 된 배경을 알 수 있었다.