Photo 공정 (1)

| 2019.12.03

lim****

: 현재 사용되는 photo 공정의 이슈 하나를 말하고 그에 대한 대책은 무엇인가요?
포토 공정 결과 회로 패턴의 품질이 원하는 만큼 나오지 않았따. 무엇을 확인할 것인가?
리소그래피 공정에 사용하는 노광기의 렌즈가 오염되었다. 그 이유와 오염물질에 대해서 설명하라.
lift-off Process에 대해 설명하고 어떤 식으로 쓰이는지 설명하시오.
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Photo 공정 flow를 익히고, 각 세부 공정에 대한 이해 및 문제점에 대해 정리.
각 분류 별 *정의형 문제*에 대한 집중 공략,
문제 및 해결책 제시형도 각 세부 공정 문제점 정리 시 병행학습.

기출문제 : Photo 공정 전반, HMDS, 해상도 개선, Multi-Patterning, ArFi, EUV.

Photo 공정에 대해 설명 : 공정 전체를 설명할 수 있는 간략한 정의
노광 공정 : 웨이퍼 상의 도포된 감광액이 화학적 반응을 일으키도록 회로정보를 포함하는 Mask에 특정 파장의 빛을 투과 시켜 Pattern을 형성하는 공정
노광의 원리 : 노광세부공정에 대한 간략한 정의
Immersion(액침노광) 기술 : lithography Technology Evolution. : 정의, 필요성, 문제점, 대책 등에 대한 설명.